Электронно-лучевой метод нанесения покрытий

Достоинством электронно-лучевого метода является эффективное использование энергии на испарение, высокая чистота и плотность осаждаемого материала, возможность гибкого управления составом покрытия с получением микрослойных структур.

К недостаткам относится относительно высокая стоимость и сложность оборудования, ограничение размеров покрываемых изделий объемом рабочей камеры.